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精密运动系统/平台（Precision Motion Stages），是指用于实现被控对象在一维或多维空间内进行高精度、可控定位和运动的机电一体化装置。其核心特征在于通过高性能驱动与精密导向，实现纳米至微米级别的分辨率、重复精度和定位稳定性。其定位精度直接影响设备的加工或测量能力，而运动速度和加速度则决定生产效率。精密运动平台通常由机械结构、驱动机构（如直线电机、旋转电机、压电驱动、气浮轴承）、检测与反馈单元（光栅尺等）以及控制系统组成。现代制造工艺（尤其是半导体制造、光学器件制造和纳米技术）的高精度和高加速的运动平台是系统的运动核心。本文精密运动系统（也称为精密运动平台）统计范围包括了紧凑型...