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外延生长或外延，是指在晶体衬底上沉积晶体覆盖层（外延层）。外延用于制造硅锭并在晶片表面沉积合适的晶体层。 外延可分为同质外延和异质外延，为了满足器件在不同应用领域对电阻等参数的特定要求，必须在衬底上进行满足条件的外延后才可制作器件，因此外延质量的好坏将会影响器件的性能。第二代和第三代半导体材料如氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）等都广泛需要外延技术作为支撑。 外延生长设备通过外延生长技术，在半导体制造中起着重要作用。它能够提供高质量、高控制性的外延层，用于制造各种半导体器件和功能材料。第三代半导体黄金赛道，装备技术壁垒高筑 2024年全球SiC和GaN外延生长设备市场规模大约为1147百万美元...

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