2.1集成电路工艺与版图 CMOS工艺流程如下图所示: 避免COMS器件闩锁效应的方法: 1.增加well tap或保护环 Tap cell, 也被称为welltap cell。这也是一种特殊的物理单元。 welltap是只包含well contact的cell,将衬底接到电源和地网络,避免衬底悬浮。主要防止CMOS器件的寄生闩锁效应(latch-up),一般tap cell的作用范围是30~40um, 即每隔60um左右放置一个tap cell,具体的数据要参考工艺商给的document。well tap cell一般交错摆放,类似棋盘分布。如下图所示 2.使用SOI技术,用SO...