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对于高分辨电子束光刻，与热阴极电子源相比场发射电子源具有高强

[单选题]
对于高分辨电子束光刻，与热阴极电子源相比场发射电子源具有高强度，束斑     ，能量展宽     ，功耗     等特点。 
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上传者：小小
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