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光刻板的玻璃基板的线性膨胀系数为。Si为。 150 mm的硅

[单选题]

光刻板的玻璃基板的线性膨胀系数为 $9*10^{-6}\;/{^{\circ}C}$ 。Si为 $2.3*10^{-6}\;/{^{\circ}C}$ 。 150 mm的硅片上，由于热膨胀造成的曝光的对准误差为 $\pm 1.0\;{\mu}m$ ，温度变化的容忍度为多少？

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0.5度
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1度
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1.5度
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2度
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上传者：小小

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