上海微电子装备（集团）股份有限公司 (以下简称SMEE) 成立于2002年3月，位于上海张江高科技园区；SMEE是在国家科技部和上海市政府共同推动下，由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高科技有限责任公司，主要致力于大规模工业生产的中高端投影光刻机研发、生产、销售与服务。