芯碁微装成立于2015年6月，专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备的研发和生产，于2021年4月上市，是国产光刻装备第一股。 公司坚持自主研发与创新，拥有完整的自主知识产权。凭借团队领先的研发水平，公司目前拥有知识产权百余项，并获批建立了“外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。